真空腔體的加熱方法分為內加熱和外加熱兩種,外加熱是在腔體外部加熱,依托腔體壁將熱量傳導進來,通過熱輻射傳遞熱量;內加熱是直接在真空腔體內部進行加熱,相比內加熱方法,外加熱有滯后性,且內加熱方法的控溫精度相對于外加熱來說更準確,所以一般情況下我們會選擇內加熱方法.

加熱器的選擇也非常重要,一般選用裝置方便的扣板式加熱板進行內加熱.扣板式加熱板的外表是鏡面的不銹鋼板,在平整度上比直接由真空腔體壁拋光更有優(yōu)勢,更利于進行熱輻射傳導熱量.

一般真空腔體內部是規(guī)矩的長方體,用一面加熱進行熱輻射的方法熱傳導不能合理涵蓋整個腔體的內部空間,所以作用不是很抱負,.通過實驗證明,采取在真空腔體內正上方、正下方、左旁邊面、右旁邊面各裝置一套加熱板加熱的方法,選用面對面熱輻射方法對腔體內部進行加熱.

因為設備在真空狀態(tài)下選用了上,下,左,右四面四路加熱的方法,比單純一路加熱就要雜亂多了,這也是溫度控制的難點.因此選用PID來進行溫度控制調節(jié),控溫熱偶設置在腔體內部,這樣可以更好地控制真空腔體內的溫度.

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