清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界尋求的抱負(fù)真空環(huán)境.自可以發(fā)明真空環(huán)境開始,人們就企圖選用不同手段到達(dá)清潔真空的效果.時(shí)至今日,清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到油泵、螺桿泵、活塞泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現(xiàn)有的無油真空泵傍邊,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特色:

①.無油，無摩擦——真空腔內(nèi)無油，非接觸，無磨損，不發(fā)生微粒塵土污染，可獲得清潔真空；

②.抽氣量大——雙渦旋盤，結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；

③.抽氣效率高——帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差小；大氣與真空之間由O型圈密封，走漏低；

④.非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振蕩?。?/span>

⑤.結(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動(dòng)半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)；

⑥.體積小，修理方便，維護(hù)費(fèi)用低；

⑦.選用空氣冷卻，無需水冷。

目前無油渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)?

①.半導(dǎo)體職業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器材封裝設(shè)備；

②.科學(xué)儀器職業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測驗(yàn)儀器；

③.機(jī)械設(shè)備職業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純?cè)O(shè)備；

④.化學(xué)工業(yè)；

⑤．醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備；

⑥．包裝職業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。

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